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探針臺(tái)是半導(dǎo)體（包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器）行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一，其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。通過與測(cè)試儀器的配合，探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來，在進(jìn)入后序工序前予以剔除，大大降低器件的制造成本。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。晶圓測(cè)試是在半導(dǎo)體器件制造過程中執(zhí)行的一個(gè)步驟。在此步驟中，在將晶圓送至芯片準(zhǔn)備之前執(zhí)行，晶圓上存在的所有單個(gè)集成電路都...

一、射頻探針RF晶片探針將沿同軸電纜傳播的電磁能轉(zhuǎn)換為晶片上DUT及其接觸墊。轉(zhuǎn)換必須以最小的失真和能量損失進(jìn)行。各種類型的RFDUT之間存在顯著差異：從分立元件到在非常寬的頻率范圍內(nèi)工作的復(fù)雜IC。因此，RF探針技術(shù)必須支持各種頻率和間距以及各種配置。最后，探頭價(jià)格和探針頭壽命直接影響測(cè)試的DUT成本。當(dāng)然，后者必須保持盡可能低的水平。通過對(duì)當(dāng)今RF應(yīng)用所面臨的眾多挑戰(zhàn)的深刻理解，MPI公司開發(fā)了TITAN™RF探針，這是專為這些復(fù)雜應(yīng)用而優(yōu)化的產(chǎn)品系列，主要針...

探針臺(tái)是半導(dǎo)體（包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器）行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一，其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。探針臺(tái)用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測(cè)試環(huán)節(jié)，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試。在半導(dǎo)體器件與集成電路制造工藝中，從單晶硅棒的制取到最終器件制造的完成需經(jīng)過復(fù)雜的工序，可分為前道工序與后道工序，探針臺(tái)是檢測(cè)半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。經(jīng)過檢測(cè)，探針臺(tái)將參...